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In questo lavoro, un romanzo 1 × 4 interruttore ottico è stato sviluppato sulla base della tecnologia a specchio verticale DRIE. Tre specchi di silicio verticali microactuated e cinque conici fibre / lensed sono stati impiegati per svolgere la funzione di commutazione 1 × 4. Gli attuatori pettine guidano gli specchi linearmente nel percorso ottico dovuto alla forza elettrostatica. Lo specchio inclinato con un angolo di 22,5 ° fatta la disposizione degli specchi e fibre ottiche più compatte. Finite Element Method (FEM) modellazione sull'attuatore pettine lineare è stato realizzato per verificare l'attacco con ioni reattivi design.Deep (DRIE) processo è stato impiegato per fabbricare gli specchi, pettini e U-scanalature su un wafer SOI. Una resa soddisfacente (fino al 70%) è stato ottenuto durante la microfabbricazione grazie alla compattezza del processo fotomaschera singolo. Il Donne Air Jordan 6 Nero Bianco prototipo del commutatore ottico è stato confezionato e sistematicamente caratterizzato in termini di proprietà di legame, prestazioni ottiche tra cui la perdita di inserzione, perdita di ritorno, diafonia, e passare il design time.The e microfabrication ha dimostrato di avere successo. La tecnica di confezionamento può essere utilizzata Air Jordan 5 Shop AAA Donne Bianco Rosso nella categoria simile di dispositivi MEMS ottici. Le prestazioni ottiche del nostro interruttore mostra la grande promessa nell'applicazione delle reti ottiche.
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